本报讯（记者 方针）4月23日，记者从开发区企业北方华创科技集团股份有限公司获悉，由公司生产完成的第100台氮化铝PVD设备顺利出货，发运客户生产线。

　　AlN PVD设备是继ELEDE系列刻蚀机、EPEE系列PECVD设备之后，北方华创在LED领域第三个突破百台大关的单系列产品，它不仅是中国自主知识产权高端装备打破国际大厂技术垄断、首次实现与国际同行同时发布的创新见证，更彰显了LED高端装备制造的中国实力。相关负责人表示，第100台设备交付给用户，标志着公司产品的工艺性能更具有竞争力，预示着在未来市场有更多的机会。

　　据介绍，北方华创iTops A230系列AlN PVD是国内首个成功应用于GaN基LED制程的薄膜缓冲层沉积设备，可提高缓冲层与GaN外延层的晶格匹配度，提高LED产品的输出效率，拓宽MOCVD设备的工艺窗口，使产品的ESD测试通过率大幅提高，能减低MOCVD的外延生长时间，提高产能，使整线的生产成本降低。自发布以来，NAURA AlN产品先声夺人，凭借其优异的工艺性能、技术稳定性和极具竞争力的拥有成本，在LED市场收获超高占有率和客户认可度，成为产业当之无愧的明星产品。

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