本报讯（融媒体中心记者 杨琳）在集成电路产业中，随着生产工艺不断提高，对制程工艺要求也更严格。此前，半导体专用温控装置等装备主要由国外进口，而北京京仪自动化装备技术有限公司（以下简称“京仪装备”）研发的“半导体生产线专用温控系统关键技术研发及应用” 改变了同类产品依赖进口的被动局面，打破了国外技术垄断，填补国内空白，并获得北京科学技术奖三等奖。

　　研发半导体生产线专用温控技术中的难点主要在于“精度”、“速度”和“可靠性”。其中“精度”是指控制温度的精度要达到要求，误差在±0.1℃。“速度”是指到达温度点的速率，根据控制对象的质量和体积不同，速率也会有所不同。“可靠性”是指设备整体的持续运转可靠性，集成电路产业生产设备是7×24小时运转、365天持续生产，在这样的大背景下，保证温控设备的正常运转才能保证整个生产的顺利进行。

　　京仪装备半导体专用温控装置主要应用在半导体领域，目前在12英寸生产线上的市场覆盖率高达80%。“未来，我们会将温控装置技术跟随市场的变化进行不断创新，并逐步向新的领域拓展。”京仪装备总经理赵力行如是说。