本报讯（融媒体中心记者 方针）记者6月27日从北京亦庄创新发布上了解到，北京量拓科技有限公司自主研发的椭偏仪实现检测精度0.1纳米，相当于1根头发丝直径的60万分之一，技术指标达到国际领先水平。这一创新技术不仅在半导体芯片、集成电路、光伏太阳能电池、平板显示、光学镀膜等高端制造领域中得到应用，而且还用于新型纳米材料等领域的研究中。

　　放上芯片、对焦、调整……走进位于北京经济技术开发区的量拓科技应用中心，正赶上技术经理朱宗洋在对客户送检的生物蛋白芯片薄膜进行检测。生物蛋白芯片薄膜的厚度以纳米计量，关键指标要求极高。

　　因为送检的是生物蛋白芯片，比较脆弱，在接受任务前，客户反复叮嘱朱宗洋要细致一些，尽量避免检测时破坏送检的生物样品。“让椭偏仪发出的光照射到芯片的纳米薄膜上，通过光的偏振态发生变化来获取数据信息，这是一种无损的检测方法，不会对样品产生任何的损伤。”朱宗洋告诉记者，送检样品膜层厚度是5纳米，而椭偏仪测量水平实现了原子量级，测量速度达到0.6秒。朱宗洋笑着说，整个过程既快又准。

　　量拓科技进入市场之初，正值我国光伏产业大发展时期，在晶体硅太阳能电池生产过程中，纳米减反膜的膜厚和折射率是必检项目，因为这些参数决定着太阳能电池的光电转换效率。由于用于绒面纳米薄膜检测的椭偏仪技术难度大，当时仅有德国一家公司能提供椭偏仪产品，量拓科技迎难而上，开发出能满足需求的椭偏仪。公司采取与德国公司完全不同的技术路线，成功推出国内首台光伏专用椭偏仪EM01，打破了国外的技术垄断，并以其高精度、高稳定性、高可靠性和简洁的人机交互赢得了客户的信赖，量拓科技的椭偏仪也已成为太阳能电池领域的标准检测产品。

　　椭偏仪是过程质量控制仪器，不仅可以用在芯片领域，还广泛应用于平板显示、触摸屏、液晶显示、曲面屏电视中的柔性纳米薄膜测量等，以及化学、生物、光学、能源等领域的产品中。在纳米薄膜工业产品的生产过程中和产品终检中，均需要检测薄膜的表征数据是否达到要求，以确保产品质量。

　　椭偏仪就是通过在生产过程中检测纳米薄膜的膜厚和一些光学性质，来判定产品质量是否合格，所以，生产过程中每一道检测“关口”都会设置相应的阈值范围，进行镀膜后检测，然后反馈到工艺上，最终确保产品质量的一致性。

　　“椭偏仪最拿手的就是测量纳米级薄膜的厚度、折射率、消光系数等参数，椭偏仪为非接触测量，快速、无损、无需真空、精度高、可测单层膜或多层膜。”量拓科技创始人孟永宏说，这种非接触的方法非常有优势，比如光经过任何物质，只要发生反射、透射、折射、散射，偏振态都会发生变化，目前还有些单位将椭偏仪用于PM2.5的研究，而随着我国产业升级和制造业水平的提高，椭偏仪的应用也越来越广。

　　记者了解到，量拓科技不仅是中国唯一的专业椭偏仪器厂商，而且是国际高端椭偏仪器的主要厂商之一。经过十多年的发展，量拓科技形成了系列纳米薄膜检测仪器（椭偏仪和膜厚仪为主）、系列偏振器件检测仪器、系列偏振光波检测仪器等三大核心产品族，并拥有对外样品测试服务。此外，公司还拥有从偏振光源、偏振控制、偏振器件到偏振解决方案的产品体系。产品和服务已应用于企业、科研、高等教育等领域。