本报讯（融媒体中心记者 方针）近日，记者从电科装备45所获悉，其自主研发的自动破碎筛分机设备已进入用户生产现场开始生产，设备各项指标满足产品品质要求，获得了好评。据了解，这是国内目前首台针对硅原料处理的集成颚式破碎、辊式破碎、筛分工艺于一体的设备。

　　硅原料是电子半导体芯片产业以及太阳能光伏发电的基础性材料，其下游产品在高端制造、航空航天、电子通讯和新能源等各个专业领域起到至关重要的作用。硅原料在进入产线前需要进行破碎清洗处理，这对设备要求非常苛刻，当前，行业内的硅料破碎关键品质指标金属含量是几十PPBW（以质量计的浓度），而电科装备45所开发的首套自动破碎筛分包装成套系统生产的硅料将金属含量降至5 PPBW，达到先进水平，填补了国内空白。

　　“该成套设备最大的优点在于运行中减少了人工过多干预，减少人为因素影响，有效保证了硅原料出厂产品的纯度和品质的一致性。”研发团队负责人段成龙说，这将为国内太阳能光伏和半导体行业的持续健康发展提供强有力支撑。

　　在设备研制过程中，研发团队攻克了多项技术难题，包括在破碎过程中开发了高硬度高纯度硬质合金、输送过程中优选高纯优质聚氨酯接触介质，从源头上控制金属污染源。面对破碎机开启后现场粉尘较大的难题，研发团队通过加强机器密封，加大排风流量，改善了工作环境恶劣的问题。研发过程中还完善了出料口机械结构、改变了传送口的倾斜角度、提高了传料的质量等，通过不断创新，大幅提升了设备的稳定性。

　　电科装备是我国以集成电路制造装备、新型平板显示装备、新能源装备和太阳能光伏产业为主的科研生产骨干单位，形成以离子注入机、平坦化装备（CMP）、电化学沉积设备（ECD）等为代表的微电子制造设备研究开发与生产制造体系，涵盖材料加工、芯片制造、先进封装和测试检测等多个领域。