近日，经开区北京京仪自动化装备技术有限公司何茂栋创新工作室即将挂牌。出乎意料的是，创新工作室领军人何茂栋竟然是一名“80后”。详细了解后，记者得知，何茂栋是京仪集团所属京仪装备公司的技术经理，长期从事半导体、LCD、LED领域高端制造装备控制系统的研究，擅长设备控制算法推导及控制软件编写。在京仪装备主要负责半导体专用温控装置Chiller产品的设计开发，采用先进的预测控制算法、模糊PID控制算法、自适应控制算法对温度进行精密控制。他所开发的Chiller系列产品打破了国外厂家的技术垄断，并实现了批量生产应用，技术达到国际先进水平。

　　学习与实践相结合

　　11月18日上午，记者来到北京京仪世纪电子股份有限公司。平头、中等个子、一身干净整洁的衣服，眼前的这位技术大拿看起来却那么平易近人。

　　2002年，何茂栋本科毕业后来到了北京京仪世纪电子股份有限公司，担任副总工程师一职。此时的何茂栋对突破国内自动化技术瓶颈充满干劲，扎根到研发第一线，做到“使用、试验、制造、安装”四个到现场、“研究、试验、设计、制造、检验、安装、使用”七事一贯制，理论与实际相结合。工作成绩优异的他2014年来到北京自动化技术研究院，任高级工程师。两年后又来到北京京仪自动化装备技术有限公司，担任正高级工程师至今。

　　学而不思则罔，思而不学则殆。除了工作中的实践与思考，在工作期间，何茂栋也从未停下过学习的脚步。2009年拿到了北京航空航天大学控制工程专业硕士学位，现为天津大学先进制造专业在读博士。2018年，作为半导体领域高端装备控制系统研究领域专家，获得了经开区“新创工程·亦麒麟”科技创新领军人才称号。

　　打破国际垄断

　　何茂栋先后参与过国家863项目“直径6英寸半绝缘砷化镓单晶生长技术研究”、国家重大专项2011ZX01006-001“3英寸InP单晶衬底”子项目“CZ-50型高压单晶炉研制”、北京市科委重点项目“多线切片机国产化样机研制”、北京市发改委重点项目“多晶铸锭生长与加工设备研发及产业化”、工信部“8英寸高效太阳能级硅单晶炉研发及产业化”等多个国家、省部级重点项目的研究开发。

　　2014年3月至今，何茂栋所开发的半导体专用温控装置Chiller，采用先进的预测控制算法、模糊PID控制算法、自适应控制算法对温度进行精密控制，半导体专用温控装置Chiller空载时的控制精度为±0.02℃，带载时控制精度为±0.5℃，领先于国际同类产品空载时控制精度±0.1℃、带载时控制精度±1.0℃的水平，Chiller产品的成功开发填补了国内空白，打破了国外厂家的技术垄断，技术达到国际先进水平。

　　何茂栋还先后开发出了单通道、双通道、三通道高精度、宽温度、大负载的精密温度控制设备，该产品的成功开发填补了国内空白，打破国外厂家的技术垄断，在半导体集成电路领域得到了批量应用，技术达到国际先进水平。“半导体生产线专用温控系统关键技术研发及应用”获北京市科学技术奖三等奖, “半导体生产线专用温控系统装置（Chiller）”获中国机械工业科学技术奖三等奖, “半导体专用温控设备”获京仪集团科技成果奖一等奖。

　　团队的力量很重要

　　采访过程中，何茂栋一直说：“团队的力量很重要，我做的工作其实并不多。”但是，何茂栋创新工作室立足于半导体温控领域高端装备的研发与设计，所开发的Chiller系列产品适用于LAM、TEL、AMAT、AMEC、NMC等国内外主要半导体工艺设备厂商的产品，并销往中芯国际、武汉新芯、华力、BOE等半导体及液晶面板厂商，覆盖了国内所有的8英寸及12英寸半导体晶圆加工线。

　　该产品的成功开发打破了国外厂家的技术垄断，并实现了批量生产应用，技术达到国际先进水平，力争带领技术团队打破国外的技术垄断，实现以上半导体高端制造装备的国产化，并批量应用到半导体集成电路制造领域中，树立民族自主品牌，开发出更先进、更智能、更绿色的新产品，超过国外同类型设备的性能，成为集成电路行业领先的附属设备供应商，为中国集成电路事业贡献力量，并使公司设备走向国际市场。

　　融媒体中心记者 张天宇 雷洁