11月27日，从北京烁科中科信电子装备有限公司（以下简称“烁科中科信”）传来好消息：烁科中科信自主研发的离子注入机正在进入国内各大集成电路制造厂商，其中中束流离子注入机CI P900系列早已通过中芯国际产业化验证，为实现大批量应用打下坚实基础。截至目前，烁科中科信已拥有中束流离子注入机、大束流离子注入机、高能离子注入机和定制离子注入机四种产品，构建了较为系统的集成电路离子注入机谱系。（详见6版）方针/摄