在近日举办的经开区总工会职工创新工作室授牌仪式上，来自北京京仪自动化装备技术有限公司的何茂栋创新工作室，凭借着半导体温控领域高端装备的研发与设计创新成果19项、完成专利6项，被经开区总工会授予区级职工创新工作室荣誉称号。

　　在经开区大族企业湾，有这样一间创新工作室，里面装满了荣誉和创新成果，他们的骨干成员在企业中发挥着劳模和骨干力量的凝聚和引领作用，这就是由经开区新创工程·亦麒麟科技创新领军人才何茂栋作为领头人的创新工作室。

　　2018年，工作室在公司各阶层领导的关心与指导下成立了，创新团队成员16人中集合了先进制造、制冷及低温工程、自动化、热能与动力工程等多个专业力量，凭借着经验足、技术精、专业广等得天独厚的优势，经过一年时间的茁壮成长，工作室开发出了单通道、双通道、三通道高精度、宽温度、大负载的精密温度控制设备，打破国外厂家的技术垄断，填补了国内空白，在半导体集成电路领域得到了批量应用，技术达到国际先进水平。仅一年的时间，为企业创造经济效益1.15亿元，所开发的Chiller系列产品满足最先进半导体工艺制程的要求，匹配美国泛林半导体（LAM）、应用材料（AMAT）、日本东京电子（TEL）、上海中微半导体（AMEC）、北京北方华创（NAURA）的刻蚀工艺设备，实现了国产设备替代国外同类设备，提高集成电路生产线国产设备的使用率，协助客户降低成本，促进国内集成电路产业发展。

　　工作室创立之初，员工们的工作任务明确，人员分工协作，工作开展务实高效。工作室在不断探索的过程中，从实践出发，逐渐把自身打造成了一个集智慧积累和创新的摇篮和平台，“比奉献精神，比创新能力”的良好工作氛围已经形成。工作室定期开展创新研讨交流会，碰撞创新灵感，就近期在工作中遇到的实际问题和困难问题开展讨论和交流，通过大家群策群力，想方设法使工序优化，从而提高生产能力，为公司的发展作出贡献。

　　在领头人何茂栋的带领下，工作室团队研制出的Y-8055DC、Y-8060DC等多种型号的半导体专用温控装置，产品性能达到甚至超过了国外竞争对手的同类型设备，国内市占率超过50%，主要销往中芯国际、华力、BOE等半导体及液晶面板厂商，几乎覆盖了国内所有的8英寸及12英寸半导体晶圆加工厂。

　　“三年，280台！”根据“十三五国家战略性新兴产业发展规划”及“中国制造2025重点领域技术路线图”的数据，工作室做了预测，未来六年内，8英寸、12英寸产线温控设备的市场将有巨大的增量。根据这个预测，工作室制定了小目标，预期三年内工作室新开发的半导体专用温控装置V200产品将销售280台，后续将发挥其产品温度控制精度高的特点，抢占国际市场。

　　同时，随着工作室与主工艺设备厂商及半导体工厂的合作逐渐深入，产业链的整合也在不断形成。工作室除了在主机台工艺不断开发新产品，下游零部件供应商也会随着产品的演进，扩大在半导体产业的应用。在此基础上，工作室的产品面向泛半导体行业延伸，开始涉足液晶面板、太阳能等领域的应用。

　　融媒体中心记者 张泉