本报讯（融媒体中心记者 高宇飞）晶圆倒片机是用来调整集成电路产线上晶圆生产材料序列位置的一款设备，它的任务是将产线上的晶圆通过制程需要进行分批、合并、翻转后进行下一道程序，这就要求晶圆倒片机拥有极高的传送效率和洁净程度。近日，区内企业北京京仪自动化装备技术有限公司（以下简称“京仪装备”）经过多年探索，成功研发出国内首台晶圆自动翻转倒片机，破解了国产晶圆自动翻转倒片机自动化难题。

　　晶圆自动翻转倒片机是一项难度极高的工艺。对此，京仪装备总经理赵力行表示，“运动都会产生一定的摩擦，产生摩擦就会产生颗粒磨损，会污染这个晶圆，这些都是我们需要避免的，所以包括旋转的过程中，也不能够有其他的污染物掉落在晶圆上”。

　　京仪装备经过多年技术积累，技术攻关小组经过无数次的实验，通过改变力的传感器作用原理，同时对结构进行重新优化设计，终于攻克了国产晶圆自动翻转倒片机不能自动翻转的难题。

　　“这款晶圆倒片机是国内首台具有（自动）翻片功能的倒片机，也是我们打破国外垄断之后，现在技术又上了一个新的台阶，可以和国外最主要的竞争对手同台竞技了。”赵力行表示，目前，京仪装备研发的首台晶圆自动翻转倒片机已经在上海集成电路研发中心得到成功应用。早期型号倒片机则已经在中芯国际、长江存储等多家企业得到应用。

　　【创新辞典】 

　　晶圆自动翻转倒片机难在哪？

　　晶圆倒片机是用来调整集成电路产线上晶圆生产材料序列位置的一款设备，它的任务是将产线上的晶圆通过制程需要进行分批、合并、翻转后进行下一道程序，这就要求晶圆倒片机拥有极高的传送效率和洁净程度。晶圆自动翻转倒片机是一项难度极高的工艺，用力过猛容易导致晶圆表面破损，力度太小晶圆则会自动脱落，加之晶圆表面的高精密性，倒片机只能夹住晶圆的两边进行自动翻转，这就给自动翻转倒片机的研发带来了难题。