战疫情，追进度。复工复产以来，北京经开区电子信息产业企业在做好疫情防控的同时，主动担当，抓紧生产，把落下的进度“抢回来”，把排定的任务“紧”起来，推动包括低温退火立式炉系统、离子注入机等一批高端装备如期交付用户，奋力完成全年预定的目标任务。

　　本报讯 （融媒体中心记者 方针）THEORIS A302L低温退火立式炉系统是面向纳米级集成电路工艺的低温热处理设备，广泛应用于内地各大集成电路芯片制造企业。4月10日，记者从北方华创了解到，公司研发团队快速响应，创造了低温退火立式炉系统最快装机纪录，赢得了客户特别颁发的“战疫情、创进度”奖，受到充分肯定。

　　“此次交付正值国内疫情防控的关键时期，在了解到客户的紧急需求后，我们在设备制造环节预先评估生产周期和交付要求，积极协调内外部各类资源，提前完成了厂内的设备装配制造工作。”北方华创相关负责人说，与此同时，团队全面了解客户现场的防疫要求，协调客户端装机资源，并提前部署装机人员前往当地完成隔离要求，积极配合客户完成进厂准备工作，为客户端装机工作做足了准备。

　　在后续客户端装机过程中，北方华创与客户精诚合作，现场有序作业，在保证设备运行质量的前提下，实现了比预期进度缩短70%工时完成装机交付，在装机时间方面取得重大突破，一举打破国际厂商同类设备20-25天装机时间，创造了该设备的最快装机纪录。

　　为了提高装配效率，北方华创探索模块化生产新模式，将设备分成不同模块进行装配，最后总装调试。在这一模式下，设备的生产周期大大缩短。通过创新生产模式，将原来岛式集中装配模式转变为模块化滚动生产模式，以智慧化生产促进效率翻番。目前，公司产能与去年同期基本持平，能够满足客户交付要求。今年以来，北方华创已累计150余台半导体设备的组装调试工作，产能没有因为疫情而受影响。

　　而在电科装备所属烁科中科信公司，为了确保完成预期目标，公司总经理舒勇东在重点任务推进会上下了死命令，“必须保证机台如期交付，把因疫情损失的产能‘抢’回来！”

　　面对任务单，春节后，公司领导靠前指挥，迅速行动，相关部门开足马力，一手抓抗击疫情、一手抓机台交付，按下复工“快进键”。其研制的中束流离子注入机于4月8日顺利搬入华虹半导体（无锡）有限公司。

　　从上游设备企业可以看出集成电路产业发展的强劲动力。中芯国际北京厂按照员工不同情况，分类管理，疫情发生后，公司生产经营正常，产能利用率100%。据悉，中芯国际今年将继续扩大产能。

　　数据显示，今年1-2月，北京经开区电子信息产业产能同比增长3.9%。经开区有关部门负责人说，继续深入落实重点企业“服务包”制度，按照一企一策原则为企业量身定制纾困措施，全力推动企业、项目快速走上正常轨道，确保市场运转“不停步”、增长动力“不断档”，奋力实现全年经济社会发展目标任务。方针/摄