本报讯（融媒体中心记者 方针）5月29日，从区内企业北方华创传来好消息，其研发生产的12英寸背金PVD系统近期正式搬入厦门士兰集科微电子12英寸生产线建设项目，这也是该项目首批搬入的设备。

　　据了解，士兰厦门12英寸特色工艺芯片生产线暨先进化合物半导体生产线是国内首条12英寸特色工艺芯片制造生产线和下一代化合物生产线。5月10日，士兰厦门12英寸特色工艺半导体芯片项目正式通电，5月20日，首批设备入场。随着该项目稳步推进，预计生产线年底可实现通线。此次搬入的北方华创12英寸背金PVD系统采用Polaris平台，工艺腔室配置灵活，并专门针对功率半导体特色薄片工艺需求进行开发。其定制化的软件服务可与客户生产系统无缝集成，保障客户快速稳定量产。薄片自动翻转和传输、应力控制技术、工艺温度实时监控及反应刻蚀等自主研发的先进技术，为12英寸薄片翘曲控制以及背面金属薄膜粘附力提供有力保障，极大地拓展了工艺空间。12英寸背金PVD系统可以为用户带来更强的兼容性、更便利的维护特性和更小的占地面积。

　　此外，北方华创还可为12英寸功率半导体领域提供包括eVictor系列厚Al PVD系统、ALB系统（PVDTi+MOCVD TiN）、WCVD系统和专门应用于特色工艺的硅刻蚀、硅外延、立式炉以及槽式清洗等设备。目前，北方华创已形成刻蚀机、PVD、CVD、清洗设备、立式炉等多种产品布局，应用于数十种集成电路先进工艺制程中，这些产品均在国内主流生产线上获得批量应用。

　　北方华创近期表示，2020年，公司目标市场保持良好发展态势，预期未来公司电子工艺装备及电子元器件业务仍将继续保持增长。公司将进一步加大市场开拓力度，积极争取订单；坚持战略引领，瞄准行业前沿技术，开展科技创新；推进募投项目建设，夯实未来发展基础；推动安全及合规建设，提升公司整体运营质量。