“如果说传统的扫描镜是一台照相机，那我们这台就可以称为摄像机，因为它有视频级的成像能力，我们最高的分辨能力能够看到头发丝的十万分之一。”聚束科技（北京）有限公司总经理何伟日前透露，其自主研发生产的全球首款真正意义上的高通量（场发射）扫描电子显微镜已经交付海外用户，正在进行系列测试调试，为最后验收做准备，实现了IC装备领域关键技术成果转化的新突破。融媒体中心记者 方针/摄