本报讯（融媒体中心记者 方针）国产OLED蒸镀机让显示产业上游核心设备实现“自发光”。6月15日，记者从区内企业欣奕华了解到，用于MicroOLED、OLED照明量产G2蒸镀设备样机近期正在开展密集调试测试工作，按照计划，该设备于今年三季度推向市场，填补国内自主研发可量产OLED蒸镀机机型的空白，提升我国显示产业上游核心装备的技术水平。

　　在生产OLED屏的过程中，要通过真空蒸镀机将OLED有机发光材料精准、均匀、可控地蒸镀到玻璃基板上，除了发光材料，金属电极等其他功能层材料也是这样蒸上去的，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。OLED蒸镀机是生产OLED面板的核心设备之一，无论时下火热的华为P40、OPPO find X2，还是三星GALAXY Quantum，都与它有着脱不开的联系。此前，OLED蒸镀机长期被日韩企业垄断，成为困扰中国显示产业发展的痛点。

　　“对于蒸镀机，直接关乎和决定着OLED产品性能，其最大难点在于实现加热源蒸镀的稳定性，对位机构高精度性和重复性，以及腔体的真空和洁净性能。”欣奕华智能机器事业群OLED事业本部总经理曹景博在说到蒸镀机研发的进展时说，经过不断努力，公司研发的所有产品的技术规格已达到或者接近国际水平。但是，产品的稳定性和技术的成熟度以及产品的细节上，还需要进一步打磨。

　　欣奕华的蒸镀设备目前集中在G1和G2，走尺寸差异化路线。欣奕华专注于小尺寸的蒸镀机市场研发和大尺寸蒸镀机核心部件技术的推广应用，打磨自己的技术，做好技术储备，以备不时之需。在小尺寸蒸镀机（G1和G2机型）方面，其应用领域可分为OLED玻璃基板使用和OLED AR/VR硅基使用，连续移动时间144小时以上，对位机构的精度达到量产要求，完全能够满足小尺寸OLED面板的生产。

　　曹景博透露，为了适应大面积显示高分辨率面板的量产需要，欣奕华在大中尺寸OLED蒸镀设备方面也已形成了核心技术方案，其自主研发的OLED点型和线型蒸发源，已经交由客户验证通过，成功导入面板龙头企业的量产线，对位精度可控制在1.5um以内。

　　欣奕华能够在OLED蒸镀设备研发、生产、市场化过程中得以快速发展，得益于国家层面的高度重视以及对OLED产业的规范化引导。特别是《“十二五”国家战略性新兴产业发展规划》中明确提出“加快推进OLED等新一代显示技术研发和产业化”，一系列相关政策陆续出台，鼓励和支持OLED设备、工艺及材料等方面的创新发展。

　　提升我国显示产业上游核心装备的技术水平还需努力奋斗。欣奕华相关负责人说，将以现有业务为基准，针对客户使用的需求和痛点，快速研发测试，提升蒸镀系统和蒸发源产品的技术竞争力，同时积极拓展OLED精品材料业务，充分利用国产化价格优势，降低面板客户成本。同时，尽早布局开发具有前瞻性的新产品和新技术，实现OLED精品材料的国产化配套，为完善OLED产业链贡献力量。