集成电路是全球信息产业的基础与核心，随着集成电路工艺级别不断提高，对生产环境温度控制要求也越来越高。近日，记者在区内企业北京京仪自动化装备技术有限公司（以下简称“京仪装备”）了解到，其研发的-70摄氏度温控设备可满足7纳米以下集成电路生产环境温度，将于年内推向应用。

　　集成电路生产线专用温控技术需要攻克“精度”“速度”和“可靠性”等难点。其中控制温度精度要达到误差±0.1℃，集成电路生产设备一般是7×24小时运转、365天持续生产，温控设备需要持续运转保障控制温度，对可靠性要求较高。也因此，此前国内集成电路行业温控设备主要依赖进口。

　　随着经开区集成电路产业生态持续优化，不断吸引行业企业在区内创立发展。2016年京仪装备团队受经开区在集成电路产业发展支持力度及国内领先的产业生态环境吸引，创立了北京京仪自动化装备技术有限公司，研发温控设备、废气处理设备、自动化生产设备等集成电路生产附属设备，向区内中芯国际、北方华创、燕东等集成电路企业供应，同时向国内知名集成电路企业供应。几年来，京仪装备以每年申请50多项专利的创新速度及技术储备，研发的“半导体生产线专用温控装备”，改变了被动局面，填补国内集成电路温控技术的空白。

　　为了满足集成电路企业研发产业化更先进工艺的集成电路产品的温控需求，京仪装备研发出了-70摄氏度的超低温温控设备。京仪装备相关负责人说，随着国内集成电路企业不断取得新突破，先进工艺制程对超低温温控设备需求量会逐渐增长，京仪装备研发的-70摄氏度温控设备将于近期推向应用。

　　据介绍，京仪装备开发的集成电路专用温控设备，近几年来在12英寸集成电路生产线上的新增市场覆盖率高达80%。未来将跟随行业变化进行不断创新温控设备及技术，为集成电路产品研发及产业化铺路。也正是依托经开区的产业环境及企业技术储备，创新开发了多种集成电路领域配套设备，推向行业中广泛应用。京仪装备制定了推进产值每年增长20%的目标，今年虽然发生了疫情，但京仪装备产值依然大幅增长，上半年产值同比去年增长了50%。

　　融媒体中心记者 田艳军/文并摄