晶圆倒片机是集成电路制造中的重要装备，长期以来高速晶圆倒片机需要海外进口。如今，北京经开区企业——北京京仪自动化装备技术有限公司自主研发出高速集成电路制造晶圆倒片机，成功打破国际垄断，成为国内首创的高速集成电路制造晶圆倒片机，可用于14纳米集成电路制造。

　　（详见3版）