本报讯(融媒体中心记者 方针)10月23日-26日,第十八届北京分析测试学术报告会暨展览会举办,聚束科技展区以实物通电工作状态展示了与钢研纳克合作研发的领航者Navigator-OPA原位高通量(场发射)扫描电镜,这是该型扫描电子显微镜首次亮相,吸引了中外参观者驻足观看。该扫描电镜还获得中国分析测试协会颁发的BCEIA 2019金奖。
高通量扫描电镜可应用于材料科学、生命科学、失效分析、工艺制程研究等领域。例如超大体量生物3D重构成像、高通量跨尺度材料表征、大规模样品缺陷筛查、镀膜工艺检测、平板显示检测、纳米颗粒自动筛查等。据了解,此次获奖的领航者Navigator-OPA,尤其适合材料领域内的跨尺度原位观测与统计分布分析。领航者扫描电镜的最大特点在于其保持高分辨率的同时,具备智能化全自动高速成像功能,成像能力高达8-10TB/天,相当于一天采集的数据撑满2块4TB的硬盘。以一个常用的直径10mm的样品为例,该设备可以在1小时的时间内完成纳米级全息成像。
据了解,钢研纳克科研团队由中国工程院院士王海舟领衔,团队致力于探索国产高通量电镜在新材料开发方面的优势。而聚束科技研发团队在开发自主核心技术基础上坚持拓展应用。双方强强联合,正是国产电镜走向市场的有效路径。
聚束科技总经理何伟告诉记者,领航者电镜采用了全电子直接探测器技术,实现低能量下二次电子(SE)和背散射电子(BSE)的高清视频级同步观测。目前已经交付客户使用的领航者Navigator-100产品,在全球同类产品中性能非常靠前。