本报讯（融媒体中心记者 方针）伴随着“起吊”的口令，一台超大型吊车将首台设备吊起，并最终成功落在厂房三层的搬入平台，随后送入洁净间。12月25日，赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司“8英寸MEMS国际代工线建设项目首台设备搬入仪式”在路东区新落成的厂房前举行，标志着这里将诞生北京首条商业量产、全球业界最先进的8英寸MEMS芯片生产线。据了解，该项目最终达产后将形成年投片3万片/月的生产能力。

　　微机电系统（MEMS）是指用微机械加工技术制作的包括微传感器、微致动器、微能源等微机械基本部分，以及高性能的电子集成线路组成的微机电器件与装置。“大家熟悉的生产线侧重二维空间，不断让芯片变得更小，而MEMS属于集成电路特色工艺，聚焦的是三维空间，芯片内部结构也缩小至纳米量级，格外考验芯片制造实力。”投建这条生产线的耐威科技董事长杨云春说。MEMS传感器作为国际竞争战略的重要标志性产业，以其技术难度高、特色工艺性强，市场前景广阔等特点备受世界各国的关注。

　　赛莱克斯MEMS项目是经开区的重要项目之一。基于对市场需求前景及国内产业链现状的判断，耐威科技在经开区等多方支持下，全资收购瑞典Silex，月产3万片的传感器生产线落子亦庄，项目量产后年产值不低于20亿元。耐威科技通过自主建立国内生产线的方式，对国际领先技术进行消化吸收，经过对照式研发与生产，培养一流的综合性MEMS工程团队，打造全球技术领先的MEMS生产线及产业化平台，提升核心竞争力。

　　在经开区的支持下，耐威科技一直在努力推动旗下MEMS业务资源的融合，由赛莱克斯国际统筹公司MEMS业务资源，北京8英寸MEMS国际代工线建成后，耐威科技将同时在瑞典和中国两地拥有8英寸MEMS产线，同时北京产线更是可以提供标准化规模产能，有利于公司进一步拓展全球市场尤其是亚洲市场，结合先进工艺与规模产能，更好地为下游客户服务，同时继续扩大MEMS业务的竞争优势，继续保持在MEMS纯代工领域的全球领先地位。同时，这条生产线还会带动经开区新一代信息技术产业上下游各方合力攻克自主技术难关。

　　瑞典赛莱克斯董事聂铁轮说，北京8英寸MEMS国际代工线对标瑞典Silex的设置，配置、原材料和工艺等一一对应，确保工艺流程及产品生产的一致性。据了解，瑞典Silex掌握了硅通孔、晶圆键合、深反应离子刻蚀等多项在业内具备国际领先竞争力的工艺技术和工艺模块，拥有目前业界最先进的硅通孔绝缘层工艺平台（TSI），已有超过十年的量产历史，生产过超过数十万片晶圆、100多种不同的产品，技术可以推广移植到2.5D和3D圆片级先进封装平台，为全球知名或某些领域领先厂商提供过400余项MEMS芯片的工艺开发服务。

　　赛莱克斯设备搬入标志着经开区新一代信息技术产业发展迎来新生力量，一直以来，经开区为项目建设、产业发展提供全方位的政策、环境和服务保障，经开区新一代信息技术产业呈现出多点发力的喜人景象，区内聚集相关企业约50家，已形成集设计、制造、封测、装备、零部件及材料企业在内的完备产业链。1-11月，经开区新一代信息技术产业实现产值765.8亿元。